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Technoorg Linda GIB TEM樣品制備 精修離子束系統
用于掃描電鏡 / 雙束電鏡的氬離子束方案
Technoorg Linda GIB TEM樣品制備 精修離子束系統的低能氬離子槍?zhuān)?/span>GIB) 適用于表面減薄、其他表面處理后的后處理、清潔以及去除無(wú)定形和氧 化物表面層。 當低能氬離子槍集成到掃描電鏡中時(shí) ,其作用尤為明顯。有了集成離子槍 ,就可以在研究之前對樣品 進(jìn)行精修。 實(shí)現高質(zhì)量樣品的另一個(gè)重要應用是在雙束 SEM / FIB 系統中進(jìn)行 FIB 樣品制備后,對 TEM 樣品進(jìn)行最 終拋光和溫和的表面清潔。
可與掃描電鏡集成
帶波紋管的傳輸系統可通過(guò)連接管安裝到掃描電鏡上。連 接管輸出法蘭的尺寸與相應的 SEM 端口尺寸相匹配。通 過(guò)線(xiàn)性傳輸系統提供的離子源流動(dòng)性,可實(shí)現理想的工作 距離(15-30 mm)。
低能量氬離子槍
低能量離子槍的直徑和長(cháng)度均為 50mm。氬離子束的能 量范圍:100eV - 2kV。 2kV 時(shí)的最大束流為 70µA。離 子束為寬束,半最大全寬(FWHM)為 2mm。
半管支架
低能量離子槍安裝在半管支架中。
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