P 系列粉末原子層沉積系統
粉末包覆可有效提升材料性能與使用壽命,如鋰電正極或負極材料,經(jīng)過(guò)表面包覆處理后在放電性能及循環(huán)使用壽命方面都有明顯提升,但目前工業(yè)的包覆手段以機械混合的干法為主,該方法包覆均勻性較差,性能提升有限。ALD 技術(shù)可實(shí)現高精度及均勻包覆,是理想的包覆手段。Forge Nano 針對粉末類(lèi)材料比表面積大的特點(diǎn),采用流化床技術(shù)實(shí)現粉末材料的流化,從而保證前驅體與粉末實(shí)現充分的接觸。P 系列粉末原子層沉積系統是 Forge Nano 針對工業(yè)包覆研發(fā)的粉末 ALD 負載系統,可實(shí)現 kg 級粉末批量包覆,是工業(yè)生產(chǎn)前理想的研發(fā)工具。
產(chǎn)品規格【原子層沉積多少錢(qián)】
1. 前驅體通道:2-8
2. 腔室容量:0-600ml
3. 反應器溫度:450℃
4. 最高工藝溫度:200℃
5. 振動(dòng)流化床反應器
6. 模塊:流化輔助,質(zhì)譜,臭氧發(fā)生器,等離子體發(fā)生器
產(chǎn)品特點(diǎn)
P 系列是 Forge Nano 專(zhuān)為粉末 ALD 開(kāi)發(fā)的研發(fā)級工具,可輕松實(shí)現 kg 的粉末包覆。使用流化床技術(shù)可保證粉末在反應器中的分散,有利于前驅體擴散。
流化輔助
粉末在長(cháng)時(shí)間存放或流化不充分時(shí)容易出現團聚,導致無(wú)法形成理想的流化態(tài)。因此利用流化輔助模塊,高剪切氣流以及振動(dòng)反應器的設計可沖散團聚顆粒,確保分散效果。
分區加熱
所有前驅體源均可獨立加熱,保證運輸條件,這對于部分低蒸汽壓的前驅體以及敏感的基底材料非常重要。P 系列也擁有*的閥門(mén)控制系統,可以實(shí)現多通道前驅體輸運。
在線(xiàn)監測
P 系列配置了氣體在線(xiàn)分析系統,對 ALD 工藝的改善有較大幫助,使用者可通過(guò)氣體成分判斷反應的完成度。
應用
鋰電池:鋰電正極或負極材料的包覆可有效提升其放電性能及使用壽命。常見(jiàn)的 NCM 與磷酸鐵鋰,在表面包覆 Al2O3 等氧化物薄膜后,在經(jīng)過(guò)多次放電后,仍可保持較高的能量密度。
3D 打?。?/strong>3D 打印粉末存在腐蝕及表面氧化的問(wèn)題,會(huì )影響最終器件的性能。通過(guò)表面涂層改性,可有效延緩氧化及腐蝕。傳統的包覆方式是在器件表面進(jìn)行 ALD 沉積,但對于 3D 打印粉末,直接對原材料粉末改性無(wú)疑是更有效的手段。
催化:催化反應大多數是發(fā)生在材料表面的界面反應,因此對于催化劑材料進(jìn)行表面構筑改性是有效的性能提升手段。利用 ALD 可以直接在粉末,纖維材料表面生長(cháng)高活性納米涂層,另一種方法是利用模板法結合 ALD 在表面構筑特定結構,暴露活性位點(diǎn)。此外,也可以在特定的顆粒表面進(jìn)行表面包覆,防止催化劑燒結團聚。
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