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掃描電鏡下的多層壓電陶瓷材料分析

 發(fā)布時(shí)間:2021/1/13 點(diǎn)擊量:1501
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    復(fù)納科學(xué)儀器(上海)有限公司

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詳細(xì)介紹:

多層壓電陶瓷由數(shù)層壓電材料組成,與內(nèi)部電極交錯(cuò)排列。內(nèi)部電極相繼定位為正極和負(fù)極,所有正電極都連接到組件一側(cè)的一個(gè)外部電極。負(fù)極連接在組件的另一側(cè)。與單層壓電陶瓷相比,多層壓電陶瓷的很大優(yōu)勢(shì)在于,在實(shí)現(xiàn)與單層壓電陶瓷相同的位移時(shí),可以減少施加的電壓。單層壓電陶瓷的位移等于壓電常數(shù) d33 乘以電壓,多層壓電陶瓷的位移等于壓電常數(shù) d33 乘以電壓乘以層數(shù)。

 

掃描隧道顯微鏡(STEM)使用了壓電陶瓷技術(shù),掃描隧道顯微鏡要控制針尖在樣品表面進(jìn)行高精度的掃描,用普通機(jī)械的控制是很難達(dá)到這一要求的。壓電陶瓷材料能以簡(jiǎn)單的方式將 1mV-1000V 的電壓信號(hào)轉(zhuǎn)換成十幾分之一納米到幾微米的位移。

 

多層壓電陶瓷器件品質(zhì)要求較高,其內(nèi)部多層結(jié)構(gòu)需要使用掃描電鏡(SEM)觀察,例如每一層陶瓷是否有缺陷,多層陶瓷的厚度是否均勻,作為電極的銀層是否覆蓋均勻,這些結(jié)構(gòu)影響著器件的使用壽命。

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