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什么是荷電效應？
掃描電子顯微鏡主要用于樣品表面微觀(guān)形貌觀(guān)察，但在觀(guān)察樣品過(guò)程中經(jīng)常由于荷電效應使得圖像異常變亮、畸變，甚至出現圖像模糊的情況，嚴重影響成像質(zhì)量。
圖1固體絕緣材料的電子發(fā)射特性曲線(xiàn)。橫坐標為入射電子能量，縱坐標為試樣的電子產(chǎn)率。荷電現象可以用基爾霍夫電流定律表示，即在任一瞬時(shí)流向某一結點(diǎn)的電流之和等于由節點(diǎn)流出的電流之和?？捎靡韵鹿奖磉_：
其中 Ip 是入射電子的電流，δIb 是背散射電子和二次電子的電流之和，Isc 是樣品接地電流，Q 為時(shí)間 t 內的放電電荷。
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