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我們在使用普通光學(xué)透鏡時(shí),把光作為介質(zhì)進(jìn)行成像,通過(guò)玻璃透鏡的折射偏轉把光匯聚成“一點(diǎn)”來(lái)聚焦成像。掃描電鏡使用的介質(zhì)不是光,而是電子。雖然介質(zhì)不同,但是與光學(xué)玻璃透鏡一樣,電鏡也普遍存在像差問(wèn)題,而這些各種各樣的像差,正在背后悄悄地影響著(zhù)電鏡成像。
下面我們來(lái)了解一下各種像差產(chǎn)生的原因,以及如何減少像差對成像的影響。
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