臺式電鏡是一種用于材料科學(xué)、化學(xué)工程、生物學(xué)、物理學(xué)等多個(gè)領(lǐng)域的分析儀器。
臺式電鏡主要包括臺式透射掃描電鏡、臺式電子顯微鏡、臺式掃描電子顯微鏡、臺式透射式電子顯微鏡等類(lèi)型，它們具有不同的功能和特點(diǎn)，但共同的目標是為科研和工業(yè)應用提供高分辨率的觀(guān)察和分析手段。這些電鏡設備能夠提供大景深、寬視野的立體形態(tài)觀(guān)察，可以對樣品的形貌和組成進(jìn)行成像，適用于對含水樣品和無(wú)導電性樣品的觀(guān)察。此外，一些臺式電鏡還具備元素分析功能，能夠進(jìn)行無(wú)損檢測，對樣品的基本不需要制備，可以直接觀(guān)測，從而為科學(xué)研究提供了大的便利。
例如，臺式透射掃描電鏡和臺式電子顯微鏡分別在2016年9月3日和2009年12月18日啟用，它們的技術(shù)指標包括放大倍率、樣品移動(dòng)范圍、*大樣品尺寸和厚度、電子槍類(lèi)型、檢測器類(lèi)型等，這些指標保證了電鏡能夠滿(mǎn)足不同領(lǐng)域的研究需求。臺式掃描電子顯微鏡在硅片與芯片質(zhì)量檢測中的應用，以及臺式透射式電子顯微鏡在物理學(xué)、化學(xué)、材料科學(xué)領(lǐng)域的應用，都體現了臺式電鏡在現代科學(xué)研究中的重要性。
臺式掃描電子顯微鏡的主要部件包括電子發(fā)射系統、電磁透鏡、信號探測系統、真空系統以及計算機控制系統等。其中，電子發(fā)射系統用于發(fā)射電子束，電磁透鏡用于聚焦和偏轉電子束，信號探測系統用于檢測樣品表面激發(fā)的信號，真空系統則用于保證電子束在傳播過(guò)程中不受氣體分子的影響。
總的來(lái)說(shuō)，臺式電鏡通過(guò)提供高分辨率的圖像和深入的分析能力，對于推動(dòng)科學(xué)研究和技術(shù)發(fā)展起到了重要作用，是現代實(shí)驗室和工業(yè)檢測中重要的工具。
