高分辨率臺式掃描電鏡是利用二次電子信號成像來觀察樣品的表面形態(tài)。掃描電鏡（SEM）是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段，可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進行微觀成像。
高分辨率臺式掃描電鏡是利用聚焦得非常細的高能電子束在試樣上掃描，激發(fā)出各種物理信息。通過對這些信息的接受、放大和顯示成像，獲得測試試樣表面形貌的觀察。
掃描電鏡的另一個重要特點是景深大，圖像立體掃描電鏡的透射電鏡是光學(xué)顯微鏡的10倍由于圖像景深較大，獲得的掃描電子圖像具有三維感強、形狀三維等特點，比其他顯微鏡能提供更多的信息。
掃描電鏡可以獲得高分辨率和真實的厚樣品形貌掃描電子顯微鏡的分辨率介于光學(xué)顯微鏡和透射電子顯微鏡之間，但在比較厚樣品的觀察時，由于透射電子顯微鏡也采用層壓法，層壓的分辨率通常只有10nm，而且觀察的不是樣品本身。因此，用掃描電鏡觀察厚樣品，獲得樣品的真實表面數(shù)據(jù)更為有利。
對用戶有很大的價值掃描電鏡所表明斷裂形態(tài)從深層和高景深的角度反映了材料斷裂的性質(zhì)，在教學(xué)科研和生產(chǎn)中具有不可替代的作用，是材料斷裂原因分析、事故原因分析、工藝合理性確定等方面的有力工具。
掃描電鏡的優(yōu)點是：
1、有較高的放大倍數(shù)，20－200000倍之間連續(xù)可調(diào)；
2、有很大的景深，視野大，成像富有立體感，可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細微結(jié)構(gòu)；
3、試樣制備簡單，目前的掃描電鏡都配有X射線能譜儀裝置，這樣可以同時進行顯微組織形貌的觀察和微區(qū)成分分析（即SEM－EDS），因此它是當今十分重要的科學(xué)研究儀器之一。
